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C3系列中空式双轴电控平台

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型号	中空区尺寸	平台尺寸	位移行程	1600分割解析度	螺桿定位精度	平行度	重复精度	重量
2-JTH90-30-C3	37x37mm	75X90mm	X=30mm，Y=30mm	0.625um	8um @ 30mm	20um	≤2um	1.6Kg

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