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C3系列中空式XY雙軸電控平台

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型號	中空區尺寸	平台尺寸	位移行程	1600分割解析度	螺桿定位精度	平行度	重複精度	重量
2-JTH640-350-C3	250x250mm	400X340mm	X=350mm，Y=350mm	2.5um	15um @ 350mm	≤2um	50um	19Kg

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