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C3系列實心雙軸電控平台

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型號	平台尺寸	位移行程	1600分割解析度	螺桿定位精度	重複精度	平行度	承重	重量
5-JT90-30-C3	75X90mm	X=30mm，Y=30mm	0.625um	8um @ 30mm	≤2um	20um	5kg	1.6Kg

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