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C3系列中空式XY雙軸電控平台

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型號	中空區尺寸	平台尺寸	位移行程	1600分割解析度	螺桿定位精度	平行度	重複精度	重量
5-JTH250-130-C3	176x176mm	250X250mm	X=130mm，Y=130mm	0.625um	10um @ 130mm	20um	≤2um	5Kg

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