Optical Tables - series

光学平台系统测试报告


当精密量测的设备与系统运作时,例如高倍率显微镜、超快雷射光学系统、全像实验(全息实验)、半导体检测设备、干涉仪系统及原子力显微镜(AFM)…等,环境震动会造成量测的误差或实验的失败,OPMount光学桌能有效隔绝环境震动的影响。
 
目前常见光学桌的材质有光岗岩、不锈钢、铁板,内层的结构有米字形、井字型,这些材料有各自的优势,,这些结构也伴随的产品的重量越来越重,某些场合如研究室或无尘室就必须考虑地面的承重性,OPMount采用蜂巢式结构,在震动抑制效果与桌面重量上取得良好的平衡,大幅度降低桌面重量同时提供良好的桌面抗压与桌板刚性。
 

市售的光学桌采用单一气囊或是双重气囊来充当阻尼系统,此方案只能对于垂直地面的震动有效忽略了水平的震动的影响,此问题会影响光学桌的抑震效果,为了解决这个问题OPMount在LTA 与LTB 桌脚结构中增加单摆结构来抑制水平方向的震动。

 

震动阻尼

 
OPMount 所有的光学桌出厂前都会进行震动的测试,已确保客户的桌子都能有震动抑制的功能,我们使用敲击槌与感测器来量测桌面震动,透过频谱分析仪进行数据的采集与计算(注1)。同时也透过安置在地面与桌面的感应器来了解整体设备对震动抑制的效果(注2)。

• 频谱分析仪(注1)

 

• 感应器(注2)

 

• 光學桌無運作 

 

• 光學桌有運作 

振動規範 最大振動量 適用製程尺度(微米) 振動描述
速度
VC-A 260 mG ( 4 ~ 8 Hz). 8 適用放大倍率低於400倍之光學顯微鏡
50μm/s ( 8 ~ 80 Hz)
VC-B 130 mG ( 4 ~ 8 Hz). 3 適用放大率低於1000倍之光學顯微鏡,以及精度在3微米之製版印刷或檢驗儀器
25μm/s ( 8 ~ 80 Hz)
VC-C 12.5μm/s ( 1 ~ 80 Hz) 1 適用於精度在1微米之製版或檢驗儀器
VC-D 6.25μm/s ( 1 ~ 80 Hz) 0.3 適用於大多數之儀器,包含電子顯微鏡(TEM及SEM)
VC-E 3.1μm/s ( 1 ~ 80 Hz) 0.1 對於大多數的情形,這是一項嚴格的標準,應可滿足對振動相當敏感之設備
VC-F 1.6μm/s ( 1 ~ 80 Hz) 0.1< 針對目前16奈米以下之高階量測設備均要求達到此等級甚至更高
VC-G 0.78μm/s ( 1 ~ 80 Hz) 0.1< 針對目前16奈米以下,甚至未來10奈米以下之高階量測設備或製程設備等居要求達到此等級

 


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