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C7系列中空式XY双轴电控平台

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型号	中空区尺寸	平台尺寸	位移行程	1600分割解析度	螺杆定位精度	平行度	重复精度	重量
5-JTH640-350-C7	250x250mm	400X340mm	X=350mm，Y=350mm	2.5um	±50um/300mm	50um	≤3um	19Kg

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