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C7系列中空式XY双轴电控平台

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型号	中空区尺寸	平台尺寸	位移行程	1600分割解析度	螺杆定位精度	平行度	重复精度	重量
5-JTH200-100-C7	145x122mm	200X200mm	X=100mm，Y=100mm	0.625um	±50um/300mm	20um	≤2um	4.3Kg

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